Elektronik

Die Elektronikindustrie wächst weiterhin sehr schnell und umfasst die Herstellung von Displays, Halbleitern und Leiterplatten. In diesen Bereichen entstehen bei Prozessen wie Reinigen, Entfetten, Ätzen und Beschichten Emissionen flüchtiger organischer Verbindungen (VOC). Die eingesetzten Chemikalien und Lösemittel können Umwelt und Gesundheit der Beschäftigten schädigen. Da die Branche für eine kontinuierliche Produktion eine hundertprozentige Betriebssicherheit verlangt, gelten besonders hohe Anforderungen an die Emissionsminderungstechnik.

Technologien zur Emissionsminderung in der Elektronikindustrie:

Regenerative thermische Oxidation (RTO)

RTO eignet sich zur Entfernung von VOC aus Abluft mit niedrigen bis mittleren Konzentrationen, wie sie für die Elektronikindustrie typisch sind. Die Abluft strömt durch ein keramisches Wärmespeicherbett in die Oxidationskammer, in der die VOC bei hohen Temperaturen in unschädliche Stoffe umgewandelt werden. Die Prozesswärme wird zurückgewonnen und zur Vorwärmung der eintretenden Luft genutzt, wodurch Energieeffizienz und Betriebskosten verbessert werden. RTO-Systeme sind auf hohe Betriebssicherheit ausgelegt, die für den kontinuierlichen Betrieb in der Elektronikindustrie entscheidend ist.

Regenerative katalytische Oxidation (RCO)

RCO eignet sich ideal für Prozesse mit definierter Schadstoffzusammensetzung und niedrigen VOC-Konzentrationen. Der Katalysator ermöglicht die Oxidation bei niedrigeren Temperaturen, spart Energie und verhindert unerwünschte Nebenprodukte. RCO-Systeme sind zuverlässig und für den Dauerbetrieb geeignet und erfüllen damit die hohen Verfügbarkeitsanforderungen der Elektronikindustrie.

Aktivkohleadsorber

Für große Luftmengen mit niedrigen VOC-Konzentrationen ist ein Aktivkohleadsorber eine wirtschaftliche Lösung. Aktivkohle adsorbiert VOC wirksam und wird regelmäßig regeneriert, wodurch ein kontinuierlicher Betrieb bei niedrigen Kosten möglich ist. Einfache Bedienung und Wartung tragen zur hohen Gesamtzuverlässigkeit bei.

Anwendungsbeispiele in der Elektronikindustrie:

Halbleiterfertigung: Beim Ätzen und Reinigen von Wafern entstehen VOC und weitere Schadstoffe. RTO- oder RCO-Systeme entfernen diese Emissionen effizient und gewährleisten einen kontinuierlichen, zuverlässigen Betrieb.
Leiterplattenfertigung: Beim Auftragen von Lötpasten und Schutzbeschichtungen entstehen VOC-Emissionen. Aktivkohleadsorber senken diese Emissionen wirksam und verbessern die Luftqualität am Arbeitsplatz.
Displayfertigung: Bei der Produktion von LCD- und OLED-Displays eingesetzte organische Lösemittel setzen VOC frei. Die regenerative thermische Oxidation bietet eine hohe VOC-Abscheideleistung und die für den Dauerbetrieb erforderliche Zuverlässigkeit.

Vorteile dieser Technologien:

Hohe Betriebssicherheit: Unsere Systeme sind für einen unterbrechungsfreien Dauerbetrieb ausgelegt.
Einhaltung von Emissionsgrenzwerten: Die wirksame VOC-Minderung unterstützt die Erfüllung strenger gesetzlicher und umweltbezogener Anforderungen.
Gesundheitsschutz der Beschäftigten: Niedrigere Konzentrationen schädlicher Stoffe verbessern das Arbeitsumfeld und die Arbeitssicherheit.
Energieeffizienz: Technologien wie RTO und RCO nutzen Wärmerückgewinnung und senken dadurch Betriebskosten und ökologischen Fußabdruck.

Dank unserer Erfahrung und Fachkenntnis können wir optimale Lösungen zur Emissionsminderung für die Elektronikindustrie entwickeln und umsetzen, die hohe Anforderungen an Zuverlässigkeit und Effizienz erfüllen.